绿源聚能
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氯硅烷
(a)氯硅烷Ⅰ
序号
项目
含量,wt%
备注
1
四氯化硅
95.37
2
三氯氢硅
4.63
氯硅烷Ⅰ可直接用于生产多晶硅。
(b)氯硅烷Ⅱ
>99.00
其它组分
<1.00
含微量有机物
氯硅烷Ⅱ可直接用于工业级产品的生产,如工业级有机硅产品。
(c)氯硅烷Ш
>99.90
高纯四氯化硅
其它
<0.10